一、潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。
「潔凈室」是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。不論外在空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
潔凈室主要作用在于控制產品所接觸空氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。
二、潔凈室的分類
1、百級潔凈間亂流式(Turbulent Flow)：
空氣由空調箱經風管與潔凈室末端高效過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級：1,000-100,000級。
2、百級潔凈間層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%的高效過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高的環境使用，一般其潔凈室等級為 1~100級。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，塵埃隨風向排出室外。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以高效過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高的潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
3、復合式(Mixed Type)：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。
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